2025
02-11
SiC外延片的化学机械清洗方法
引言碳化硅（SiC）作为一种高性能的半导体材料，因其卓越的物理和化学性质，在电力电子、微波器件、高温传感器等领域展现出巨大的应用潜力。然而，在SiC外延片的制造过程中，表面污染物的存在会严重影响外延片的质量和性能。因此，采用高效的化学机械清...
2025
02-10
外差式激光干涉和零差式激光干涉的区别
外差式激光干涉和零差式激光干涉是两种不同的激光干涉测量技术，它们在工作原理、特点和应用方面存在显著的差异。以下是对这两种技术的详细比较：一、工作原理外差式激光干涉外差式激光干涉仪又称双频干涉仪或交流干涉仪，其工作原理是利用两种不同频率的单色...
2025
02-08
白光干涉仪的膜厚测量模式原理
白光干涉仪的膜厚测量模式原理主要基于光的干涉原理，通过测量反射光波的相位差或干涉条纹的变化来精确计算薄膜的厚度。以下是该原理的详细解释：一、基本原理当光线照射到薄膜表面时，部分光线会在薄膜表面反射，形成表面反射光；另一部分光线会穿透薄膜，在...
2025
02-07
白光干涉仪的光谱干涉模式原理
白光干涉仪的光谱干涉模式原理主要基于光的干涉和光谱分析。以下是对该原理的详细解释：一、基本原理白光干涉仪利用干涉原理测量光程之差，从而测定有关物理量。在光谱干涉模式中，白光作为光源，其发出的光经过扩束准直后，通过分光棱镜等光学元件被分成两束...
2025
02-06
白光干涉仪中的VSI和PSI以及VXI模...
白光干涉仪是一种高精度的光学测量仪器，它利用白光干涉原理来测量物体表面的形貌和高度等信息。在白光干涉仪中，垂直扫描干涉测量模式（VSI）、相移干涉测量模式（PSI）以及结合VSI和PSI的高分辨测量模式（VXI）是三种重要的测量模式。以下是...
2025
01-23
迈克耳孙干涉仪白光等倾干涉的实现、条纹特...
迈克耳孙干涉仪白光等倾干涉的实现、条纹特征及形成机理是光学研究中的重要内容。以下是对这些方面的详细解释：一、迈克耳孙干涉仪白光等倾干涉的实现迈克耳孙干涉仪利用分振幅法产生双光束以实现干涉。在白光等倾干涉的实验中，需要在迈克耳孙干涉仪的反射镜...